מטהר אדים תעשייתי הוא סוג של ציוד טיהור המשמש לעיבוד שבבי להתמודדות עם אוויר זיהום אדי, הציוד קטן בגודל, יעילות האיסוף היא עד 95% ומעלה. מערכת הסינון משתמשת בארבע רמות טיהור, סינון בשכבה לפי שכבה כדי להבטיח כי האדים המזיקים מטוהרים בצורה יסודית יותר.
