מטהר אדים תעשייתי הוא סוג של ציוד טיהור המשמש בעיבוד שבבי כדי להתמודד עם זיהום אוויר, הציוד קטן בגודלו, יעילות האיסוף היא עד 95% או יותר. מערכת הסינון משתמשת בארבע רמות טיהור, מסננת שכבה אחר שכבה כדי להבטיח שהאדים המזיקים מטוהרים בצורה יסודית יותר.
